千分尺测量面的平面度测量
千分尺的测量面平面度的平晶检测方法，平晶即平面平晶，其工作面是理想平面，平晶是利用光波干涉现象，将微小几何形状误差变为干涉条纹进行读数的测量平面度和直线度的工具，我们在检定千分尺时用的通常为1级平面平晶。检测时将平晶工作面和被检测量面用航空汽油擦净后，把平晶工作面靠在被测面上，当被测面是理想平晶时则平晶工作面与被测面紧密接触，没有空气层，所以看到的干涉条纹为平直状，如果被测面不是理想平面，平晶工作面与被测面之间有空气层，于是我们看到的不是平行明暗交替的干涉条纹，而变成了圆形多条干涉条纹。被测面平面度越差，干涉条纹变形越大。当偏差大到一定程度时，就变成光圈，因此，我们可以根据干涉条纹的形状或光圈的数量计算出被测平面的偏差量——平面度。如图1为干涉条纹反映平面度由好到差的3种情况。
根据干涉条纹计算平面度，被测面的平面度δ是由通过平晶直径方向上干涉条纹的弯曲量（h）相对于条纹的间距（H）乘以所用光的波长（λ）的一半计算的：
根据光圈计算平面度。当干涉条纹的弯曲量等于干涉条纹的间距，即h=H时，干涉条纹就变成光圈：=N=1，根据光圈计算平面度时，在光圈大于1的情况下，是取平晶直径方向上光圈数最多的光圈数（N）乘以所入光的一半为平面度δ=N
千分尺测量面的平行度的测量
对于100mm以下的千分尺测量面平行度检定,通常我们使用平行平晶，将平行平晶放在千分尺两测量面间，使千分尺两测量面与平行平晶两个工作面接触，接触面之间产生干涉条纹，以平行平晶两工作面上产生的干涉条纹数代入（m+n）r/2公式计算平行性。（其中，m，n为两测量面上产生的干涉条纹数；r为所用光源的波长）。检定需要四块平行平晶，其尺寸彼此差值相当于微动螺杆四分之一周，依次使四块平行平晶与千分尺测量面接触，并调到干涉带条数为最少时进行读数，最后以四块平行平晶在千分尺两测量面产生干涉条纹数最多的一块作为千分尺的平行度。
对于大于100mm以上的千分尺测量面平行度检定通常我们使用量块，用对应千分尺测量范围的量块放在千分尺两测量面间，用量块同一个位置对千分尺测量面的上下左右四个位置上分别读数，并求出差值，其中最大值即为被检千分尺的测量面平行度。
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